歡迎進入沈陽睿之達真空技術有限公司網站!
13840126586
網站首頁
公司簡介
資訊中心
產品展示
成功案例
營銷網絡
人才招聘
在線留言
聯系我們

成功案例

當前位置:首頁-成功案例

半導體材料單晶退火爐

發布時間:2017/07/03
半導體材料單晶退火爐

  用途:
  本系統可用于各種材料的退火去應力處理,尤其適用于半導體單晶材料的退火處理;具有節能、可靠性高、自動化程度高,裝料完成后只需一鍵即可完成整個退火全過程。
  技術指標:
  1、設備結構形式:臥式、耐高溫不銹鋼材料,真空室兩端密封處采用雙層水冷結構;
  2、系統空載極限真空度≤5×10-1Pa,(冷態);工作時充氬氣至大氣狀態,工作溫度550℃;
  3、連續工作溫度:550℃(持續時間60小時以上);溫度均勻性±5℃,控溫精度:±1℃;
  4、有效均溫區≥?300×1800mm;
  5、加熱方式采用三區加熱、獨立測溫控溫方式,PID智能溫控儀程序控溫;采用低電壓大電流加熱電源,電壓低于60V,三段控溫(控制加熱體附近溫度),三段測溫(測量真空室內部溫度)
亿赢登录